N.Onojima, J.Suda, H.Matsunami: "Molecular-beam epitaxial growth of insulating AlN on surface-controlled 6H-SiC substrate by HCl gas etching"Applied Physics Letters. 80・1. 76-78 (2001)

N.Onojima, J.Suda, H.Matsunami: "Molecular-beam epitaxial growth of insulating AlN on surface-controlled 6H-SiC substrate by HCl gas etching"Applied Physics Letters. 80・1. 76-78 (2001)
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N.Onojima、J.Suda、H.Matsunami:“通过 HCl 气体蚀刻在表面控制的 6H-SiC 衬底上进行绝缘 AlN 的分子束外延生长”应用物理快报 80・1(2001 年)。

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