リモートプラズマMOCVD法によるZnO薄膜の成長
リモートプラズマMOCVD法によるZnO薄膜の成長
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远程等离子体MOCVD法生长ZnO薄膜
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村 篤志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三宅亜紀;Anri Nakajima;Anri Nakajima;Hiroko Kominami;葛西哲郎;大原賢治;A.Miyake;T.Aoki;石井紘之;三宅亜紀;石井紘之;A.Miyake;中村 篤志
