MEMS硬さセンサにおける基準面構造による押し当て荷重依存性低減効果の検証
MEMS硬さセンサにおける基準面構造による押し当て荷重依存性低減効果の検証
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验证 MEMS 硬度传感器中使用参考表面结构降低推力负载依赖性的效果
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
前田祐作; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Ikeda;R. Sumina;H. Ikenoue;T. Asano;M.Hatano;前田祐作; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
