レーザ光弾性法による電子デバイスの応力評価
レーザ光弾性法による電子デバイスの応力評価
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利用激光光弹性法评估电子器件的应力
DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
五味健二
中科院分区:
文献类型:
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作者:
K.Teramura;K.Maeda;T.Saito;T.Takata;N.Saito;Y.Inoue;K.Domen;五味健二;五味健二