基底状態原子支援化学気相堆積法によるシ リコン酸化膜の形成及び評価
基底状態原子支援化学気相堆積法によるシ リコン酸化膜の形成及び評価
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基态原子辅助化学气相沉积法氧化硅薄膜的形成及评价
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
尾内亮太,山形翔,古川雅一,若原昭浩,岡田 浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木村泰希;古神義則;清水隆志,;尾内亮太,山形翔,古川雅一,若原昭浩,岡田 浩
