Si の金属微粒子援用HF エッチングにおけるカソード反応の影響
Si の金属微粒子援用HF エッチングにおけるカソード反応の影響
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阴极反应对金属颗粒辅助高频硅刻蚀的影响
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森井友麻，八重真治，福室直樹，阪本 進，松田 均
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木戸 茜;八重 真治;福田 健二;萩原 泰三;福室 直樹;松田 均;江籠卓馬，八重真治，萩原泰三，福室直樹，松田 均;江籠卓馬（第１回学生優秀講演賞受賞），八重真治，萩原泰三，福室直樹，松田 均;森井友麻，八重真治，福室直樹，阪本 進，松田 均
