Effective Decomposition of Water Vapor in RF plasma with Carbon Deposition
Effective Decomposition of Water Vapor in RF plasma with Carbon Deposition
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通过碳沉积在射频等离子体中有效分解水蒸气
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. Ikeda and K. Katayama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Oya;R. Ikeda and K. Katayama
