一种用于称重的矩形微通道式微悬臂梁

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DOI:
10.13250/j.cnki.wndz.2019.10.006
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发表时间:
2019
期刊:
微纳电子技术
影响因子:
--
通讯作者:
蒋纬涵
蒋纬涵
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
郝秀春;蒋纬涵

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