Waveguide-mode Sensor Chip with Si/SiO2/SiOx Structure
Waveguide-mode Sensor Chip with Si/SiO2/SiOx Structure
复制标题
Si/SiO2/SiOx结构的波导模式传感器芯片
DOI：
--
复制
发表时间：
2020
影响因子：
1.2
通讯作者：
and Makoto Fujimaki
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Masato Yasuura;Koji Ueno;Hiroki Ashiba;Yuki Nakaya;and Makoto Fujimaki
