A Simulation-based Comparison of Material Handling Systems in Semiconductor Facility
A Simulation-based Comparison of Material Handling Systems in Semiconductor Facility
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半导体工厂物料搬运系统的基于仿真的比较
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takashi Irohara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
和田任弘;戸井原孝臣;銭毅;和田任弘;大森達也;和田任弘;Takashi Irohara
