Wugen PAN.Sai Tak CHU,Shiya SATO,Tsuyoshi MAEDA,Takashi KATO and Yasuo KOKUBUN: "Planarization of Film Deposition and Improvement of Channel Structure for Fabrication of ARROW-type X-crossing Vertical Coupler Filter" Jpn.J.Appl.Phys.(To be published). (19
Wugen PAN.Sai Tak CHU,Shiya SATO,Tsuyoshi MAEDA,Takashi KATO and Yasuo KOKUBUN: "Planarization of Film Deposition and Improvement of Channel Structure for Fabrication of ARROW-type X-crossing Vertical Coupler Filter" Jpn.J.Appl.Phys.(To be published). (19
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Wugen PAN.Sai Tak CHU、Shiya SATO、Tsuyoshi MAEDA、Takashi KATO 和 Yasuo KOKUBUN：“用于制作 ARROW 型 X 交叉垂直耦合滤波器的薄膜沉积的平坦化和通道结构的改进” Jpn.J.Appl.Phys。
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