熱フィラメントCVD法で成長した単結晶ダイヤモンド膜の構造評価

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热丝CVD法生长单晶金刚石薄膜的结构评价

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大曲 新矢,山田 英明,茶谷原 昭義,鹿田 真一
大曲 新矢,山田 英明,茶谷原 昭義,鹿田 真一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Morioka;K.;Kanada;N.;Futatsumori;S.;Kohmura;A.;Yonemoto;N.;Sumiya;Y.;Asano;D.;大曲 新矢,山田 英明,茶谷原 昭義,鹿田 真一

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