岡田浩尚: "φ200mmSiウエハの常温接合(第2報) -Au薄膜の接合性の検討-"精密工学会秋季大会論文集. 605-605 (2001)
岡田浩尚: "φ200mmSiウエハの常温接合(第2報) -Au薄膜の接合性の検討-"精密工学会秋季大会論文集. 605-605 (2001)
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Hironao Okada:“φ200mm Si晶圆的室温键合(第2次报告)-Au薄膜的键合性能检查-”日本精密工程学会秋季会议记录605-605(2001年)。
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