Low temperature performance of miniature capacitive pressure sensor with submicron gap
Low temperature performance of miniature capacitive pressure sensor with submicron gap
复制标题
亚微米间隙微型电容式压力传感器的低温性能
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N.Wada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Hieda;T.Kato;D.Hirano;T.Matsushita;N.Wada
