Study of Pt growth on Si, Al2O3, Au, and Ni surfaces by plasma enhanced atomic layer deposition
Study of Pt growth on Si, Al2O3, Au, and Ni surfaces by plasma enhanced atomic layer deposition
复制标题
等离子体增强原子层沉积在 Si、Al2O3、Au 和 Ni 表面上生长 Pt 的研究
DOI：
10.1063/5.0058281
复制
发表时间：
2021
影响因子：
3.2
通讯作者：
F. Yi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Mingming Yan;Tianchong Zhang;Bo Wang;Jing Liu;Xiaoxiao Liang;Yuanze Xu;F. Yi
影响因子：
10.8
作者：
Woehl, Taylor J.;Park, Chiwoo;Evans, James E.;Arslan, Ilke;Ristenpart, William D.;Browning, Nigel D.
通讯作者：
Browning, Nigel D.