Micromachining of organic polymers by X-ray photo-etching using a 10Hz laser-plasma radiation source
Micromachining of organic polymers by X-ray photo-etching using a 10Hz laser-plasma radiation source
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使用 10Hz 激光等离子体辐射源通过 X 射线光刻对有机聚合物进行微加工
DOI：
10.1016/j.mee.2004.12.058
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Szczurek
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Bartnik;H. Fiedorowicz;R. Jarocki;L. Juha;J. Kostecki;R. Rakowski;M. Szczurek
