S.Fukatsu,S.Kubo,Y.Shiraki,and R.Ito: "Redistribution of Sb in an AtomicーLagerーDoped Silicon" Appl.Phys.Lett.58. (1991)

S.Fukatsu,S.Kubo,Y.Shiraki,and R.Ito: "Redistribution of Sb in an AtomicーLagerーDoped Silicon" Appl.Phys.Lett.58. (1991)
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S.Fukatsu、S.Kubo、Y.Shiraki 和 R.Ito:“原子掺杂硅中锑的重新分布”Appl.Phys.Lett.58 (1991)。

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