K.SASAKI et al.: "Limited Reaction Growth of YSZ Thin Films for Gate Insulator"Vacuum. 66. 403-408 (2002)

K.SASAKI et al.: "Limited Reaction Growth of YSZ Thin Films for Gate Insulator"Vacuum. 66. 403-408 (2002)
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K.SASAKI 等人:“用于栅极绝缘体的 YSZ 薄膜的有限反应生长”真空。

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