その場分光エリプソメトリ測定を用いたBTA-H2O2混合溶液中におけるCu表面の初期処理過程の解析
その場分光エリプソメトリ測定を用いたBTA-H2O2混合溶液中におけるCu表面の初期処理過程の解析
复制标题
原位光谱椭偏测量分析BTA-H2O2混合溶液中Cu表面的初始处理过程
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
瀬川紘幹 近藤英一 濱田聡美 嶋昇平 檜山浩國
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
瀬川紘幹 近藤英一 濱田聡美 嶋昇平 檜山浩國
