MEMS構造体を利用した薄膜内部応力の測定
MEMS構造体を利用した薄膜内部応力の測定
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使用 MEMS 结构测量薄膜中的内应力
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高瀬 駿，山崎 貴大，岡 智絵美，櫻井 淳平，秦 誠一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Steven R S;Colin O;Lewys J;Amanda P;Sergei V.;K;Matthew J. O;Rafal E. D;Norman S;Khalid H;Wei-Chang D. Y;Renu S;Yingge D;Ann C;Haimei Z;Edgar C. B;Libor K;R. L P;Dongsheng L;Xin Z;Mitsuhiro M;and Mitra L. T;佐藤 寛太，山崎 貴大，岡 智絵美，秦 誠一，櫻井 淳平;高瀬 駿，山崎 貴大，岡 智絵美，櫻井 淳平，秦 誠一
