光ファイバ伝搬光によるシリコンの穴あけ加工

光ファイバ伝搬光によるシリコンの穴あけ加工
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使用光纤传播光在硅中钻孔

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
精密工学会春季大会学術講演論文集(CD版) (春季)
影响因子:
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通讯作者:
戸倉和
戸倉和
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
山下祥宣;比田井洋史;戸倉和

文献摘要

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