Fabrication of the grid pattern on a roll mold by electron beam direct writing
Fabrication of the grid pattern on a roll mold by electron beam direct writing
复制标题
电子束直写法在辊模上制作网格图案
DOI：
10.1016/j.mee.2018.02.014
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发表时间：
2018
影响因子：
2.3
通讯作者：
J. Taniguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuta Takano;J. Taniguchi
