槌野晶夫: "C_5F_8/C_6F_6混合ガスを用いた低誘電率薄膜のプラズマCVD"第49回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集. 49・2. 942-942 (2002)
槌野晶夫: "C_5F_8/C_6F_6混合ガスを用いた低誘電率薄膜のプラズマCVD"第49回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集. 49・2. 942-942 (2002)
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Akio Tsuchino：“使用C_5F_8/C_6F_6混合气体的低介电常数薄膜的等离子体CVD”第49届应用物理学会会议记录49・2（2002年）。
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