高井義成, 小林剣二, 光田好孝: "円筒H11モードを利用したマイクロ波プラズマCVD装置によるダイヤモンド膜の大面積堆積"表面技術協会第102回講演大会講演要旨集. 233-234 (2000)
高井義成, 小林剣二, 光田好孝: "円筒H11モードを利用したマイクロ波プラズマCVD装置によるダイヤモンド膜の大面積堆積"表面技術協会第102回講演大会講演要旨集. 233-234 (2000)
复制标题
Yoshinari Takai、Kenji Kobayashi、Yoshitaka Mitsuda:“使用圆柱 H11 模式的微波等离子体 CVD 设备大面积沉积金刚石薄膜”表面技术协会第 102 届会议摘要 233-234 (2000)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: