レーザークリーニングによる高価基板の再利用
レーザークリーニングによる高価基板の再利用
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通过激光清洗重复利用昂贵的基材
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
東畠 三洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomoyuki Araya;Kazuo Kasahara;Shingo Nishikawa;Hideharu Kimura;Takashi Sone;Hideo Nagae;Yoshio Ikehata;Isamu Nagano;Masaki Fujimura;屋良 朝康;上杉一秀;屋良 朝康;一条 洋和;稲守 栄;稲守 栄;齊藤 作義;桟敷 剛;桟敷 剛;中村 淳也;外山貴子;佐藤 敏之;永渕 一成;星 勝徳;東畠 三洋;東畠 三洋
