大電力パルス駆動ペニングスパッタ装置における高密度プラズマの生成に関する研究
大電力パルス駆動ペニングスパッタ装置における高密度プラズマの生成に関する研究
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高功率脉冲驱动潘宁溅射设备中高密度等离子体产生的研究
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池畑 隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菊地貴允;佐藤直幸;東 欣吾;池畑 隆
