T.Kosugi,R.Mimura,R.Aihara,K.Gamo,S.Namba: "Low energy focused ion beam system and application to low damage Microprocess" Jpn.J.Appl.Phys.29. 2295-2298 (1990)
T.Kosugi,R.Mimura,R.Aihara,K.Gamo,S.Namba: "Low energy focused ion beam system and application to low damage Microprocess" Jpn.J.Appl.Phys.29. 2295-2298 (1990)
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T.Kosugi，R.Mimura，R.Aihara，K.Gamo，S.Namba：“低能量聚焦离子束系统及其在低损伤微加工中的应用”Jpn.J.Appl.Phys.29。
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