ナノインデンテーション法を用いたシリコンの熱輸送特性の測定

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用纳米压痕法测量硅的热传输特性

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
高尻雅之
高尻雅之
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
則正雄賀;長谷匡高;速水舞;室谷裕志;宮崎康次;高尻雅之

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