MEMS on TFT

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DOI：
10.1109/omn.2016.7565835
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发表时间：
2016-07
期刊：
2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN)
影响因子：
--
通讯作者：
H. Toshiyoshi;S. Ihida;A. Tixier-Mita
H. Toshiyoshi;S. Ihida;A. Tixier-Mita
中科院分区：
其他
文献类型：
--
作者：
H. Toshiyoshi;S. Ihida;A. Tixier-Mita

文献摘要

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从设计原则、器件尺寸、输出电压和后处理等方面讨论了采用TFT（薄膜晶体管）技术的集成MEMS的优点。介绍了用于生物化学和光学应用的TFT-MEMS。
Benefits of using TFT (thin film transistor) technology for integrated MEMS is discussed from view points of design rule, device dimension, output voltage, and post-process. TFT-MEMS for biochemical and optical applications are presented.