メタンガス導入による炭化ホウ素系スパッタ薄膜の摩擦特性向上
メタンガス導入による炭化ホウ素系スパッタ薄膜の摩擦特性向上
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引入甲烷气体改善碳化硼溅射薄膜的摩擦性能
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神崎 昌郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
神崎 昌郎
