マイクロサイズ曲げ試験によるMEMS用厚膜レジストSU-8の塑性変形挙動
マイクロサイズ曲げ試験によるMEMS用厚膜レジストSU-8の塑性変形挙動
复制标题
通过微尺寸弯曲测试用于MEMS的厚膜抗蚀剂SU-8的塑性变形行为
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
肥後 矢吉
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
石山 千恵美;松崎 純平;肥後 矢吉
