Influence of Oxygen Flow Ration on Properties of Zn2SnO4 Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering
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氧气流量比对射频磁控溅射沉积Zn2SnO4薄膜性能的影响
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tsutom Yotsuya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazuo Satoh;Yoshiaharu Kakehi;Akio Okamoto;Shuichi Murakami;Fumihiro Uratani;Tsutom Yotsuya
DOI：
10.1143/jjap.43.l439
发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
作者：
Wanji Yu;K. Satoh;H. Kikuta;T. Konishi;T. Yotsuya
通讯作者：
T. Yotsuya