A Rotating Ring Disk Study of Accelerators with Cl<sup>－</sup> and Br<sup>－</sup> for Copper Damascene Electrodeposition
A Rotating Ring Disk Study of Accelerators with Cl<sup>－</sup> and Br<sup>－</sup> for Copper Damascene Electrodeposition
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铜镶嵌电沉积Cl<sup>－</sup>和Br<sup>－</sup>加速器旋转环盘研究
DOI：
10.4139/sfj.69.352
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Ha Van Hoang,Tetsuji Hirato and Kazuo Kondo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Anh Van Nhat Tran;Ha Van Hoang,Tetsuji Hirato and Kazuo Kondo
