T.Inushima et al.,: "Heteroepitaxial growth of AlN at resonance point of nitrogen-ECR plasma"J.Crystal Growth. 209. 406-409 (2000)
T.Inushima et al.,: "Heteroepitaxial growth of AlN at resonance point of nitrogen-ECR plasma"J.Crystal Growth. 209. 406-409 (2000)
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T.Inushima 等人：“AlN 在氮 ECR 等离子体共振点的异质外延生长”J.Crystal Growth。
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