Integration of a scanning interferometer into a robotic inspection system for factory deployment
Integration of a scanning interferometer into a robotic inspection system for factory deployment
复制标题
将扫描干涉仪集成到机器人检测系统中以进行工厂部署
DOI：
10.1109/sii46433.2020.9025972
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Biro I
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Biro I
