Simulation of gas heating in radio frequency driven microdischarge in Ar-猫眼课题宝

氩气中射频驱动微放电气体加热模拟

DOI：

发表时间：

2006

期刊：

Proc. of the 6^<th> International Conference on reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing

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中科院分区：

文献类型：

作者：

F.Tochikubo;S.Uchida