DLC膜の除膜に向けた酸素プラズマの計測
DLC膜の除膜に向けた酸素プラズマの計測
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用于去除 DLC 薄膜的氧等离子体测量
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉本倖雪，臼木貴羅，谷本 壮
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tsutomu Tanimoto;Yosuke Tomita;Masanori Saito;Yoshiyuki Nagai;Takumi Arai;Kimihiro Nishijima;吉本倖雪，臼木貴羅，谷本 壮
