山崎 裏 栖原 西原: "スパッタリング Al2O3-SiO2薄膜導波路の紫外透過特性" 第44回応物学会予稿集. 29a-NE-1 (1997)
山崎 裏 栖原 西原: "スパッタリング Al2O3-SiO2薄膜導波路の紫外透過特性" 第44回応物学会予稿集. 29a-NE-1 (1997)
复制标题
Ura Yamazaki、Nishihara Suhara：“溅射 Al2O3-SiO2 薄膜波导的紫外线传输特性”第 44 届应用物理学会论文集 29a-NE-1 (1997)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
