ECFマイクロポンプにおけるリング形電極の新たな製作方法に関する研究
ECFマイクロポンプにおけるリング形電極の新たな製作方法に関する研究
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ECF微泵环形电极新型制造方法研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金俊完
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zhu Yichuan;吉田和弘;金俊完
