Co-Clustering Via Nanochannel-Membrane Modulated Ion Implantation into Si3N4 Observed By Plan-View Aberration-Corrected STEM And EELS
Co-Clustering Via Nanochannel-Membrane Modulated Ion Implantation into Si3N4 Observed By Plan-View Aberration-Corrected STEM And EELS
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通过平面像差校正 STEM 和 EELS 观察到通过纳米通道膜调制离子注入 Si3N4 进行共聚
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Guenter Moebus (Author)
中科院分区：
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作者：
Guenter Moebus (Author)
