Efficient critical area measurements of IC layout applied to quality and reliability enhancement

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IC 布局的高效关键面积测量可提高质量和可靠性

DOI:
10.1016/s0026-2714(97)00021-8
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发表时间:
1997
影响因子:
1.6
通讯作者:
A. Walton
A. Walton
中科院分区:
工程技术4区
文献类型:
--
作者:
G. A. Allan;A. Walton

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