スパッタ法によるPZT系膜を用いた高効率超音波トランスデューサ
スパッタ法によるPZT系膜を用いた高効率超音波トランスデューサ
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采用溅射法制成的PZT薄膜的高效超声波换能器
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳谷隆彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤裕友;柳谷隆彦
