Structural Investigation of Piezoelectric Layer and Electrode Layer for Circular Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers
Structural Investigation of Piezoelectric Layer and Electrode Layer for Circular Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers
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圆形压电微机械超声换能器压电层和电极层的结构研究
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Makoto Ishida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Daisuke Akai;Hongqu Yu;Takeo Katori;and Makoto Ishida
