H.Shimizu: "Low Temperature Growth of 3C-SiC Films on Si Substrate by AC Plasma-Assisted CVD." Proceeding of the 12th Symposium on Plasma Processing. 12. 329-332 (1995)
H.Shimizu: "Low Temperature Growth of 3C-SiC Films on Si Substrate by AC Plasma-Assisted CVD." Proceeding of the 12th Symposium on Plasma Processing. 12. 329-332 (1995)
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H.Shimizu：“通过交流等离子体辅助 CVD 在硅衬底上低温生长 3C-SiC 薄膜。”
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