Y.Yamagata, H.Ohmori, Y.Uehara, S・Morita, S. Moriyasu, J.W. Kim, K. Inoue, T. Higuchi: "Machining of fused silica chip for micro force sensor (in Japanese)"Proceedings of JSPE annual conference 2000. D7. 353-354 (2000)

Y.Yamagata, H.Ohmori, Y.Uehara, S・Morita, S. Moriyasu, J.W. Kim, K. Inoue, T. Higuchi: "Machining of fused silica chip for micro force sensor (in Japanese)"Proceedings of JSPE annual conference 2000. D7. 353-354 (2000)
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Y. Yamagata、H. Ohmori、Y. Uehara、S. Morita、S. Moriyasu、J. W. Kim、K. Inoue、T. Higuchi:“微力传感器用熔融石英芯片的加工(日语)” JSPE 年刊论文集2000 年会议。D7。353-354 (2000)

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