Decomposition of Tetrafluoromethane by Water Plasma Generated under Atmospheric Pressure

Decomposition of Tetrafluoromethane by Water Plasma Generated under Atmospheric Pressure
复制标题

大气压下产生的水等离子体分解四氟甲烷

DOI:
--
复制
发表时间:
2009
期刊:
Thin Solid Films 518(3)
影响因子:
--
通讯作者:
T.Watanabe
T.Watanabe
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Narengerile;H.Saito;T.Watanabe

文献摘要

相似文献