ScAlN薄膜/LiNbO3板構造における縦型リーキSAW伝搬特性の理論解析

ScAlN薄膜/LiNbO3板構造における縦型リーキSAW伝搬特性の理論解析
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ScAlN薄膜/LiNbO3板结构中垂直泄漏声表面波传播特性的理论分析

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鈴木,垣尾
鈴木,垣尾
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
鈴木雅視;早川竜盛;垣尾省司;竹谷晃一;澤田,鈴木,垣尾;竹谷晃一;M. Suzuki and S. Kakio;竹谷晃一;鈴木,垣尾

文献摘要

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