Microfabrication of Cantilevered Quartz-crystal Resonator for Force Sensing, Asia-Pacific Conference of Transducers
Microfabrication of Cantilevered Quartz-crystal Resonator for Force Sensing, Asia-Pacific Conference of Transducers
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用于力传感的悬臂石英晶体谐振器的微加工，亚太传感器会议
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masayoshi Esashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yu Ching Lin;Takahito Ono;Masayoshi Esashi
