イオンビーム援用BN薄膜の作製と特性評価
イオンビーム援用BN薄膜の作製と特性評価
复制标题
离子束辅助BN薄膜的制备及表征
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
栗原朗優;花木聡;山下正人;内田仁
