微細SOIデバイスの重イオン照射誘起寄生バイポーラ効果抑制

微細SOIデバイスの重イオン照射誘起寄生バイポーラ効果抑制
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微型 SOI 器件中重离子辐照引起的寄生双极效应的抑制

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
日本信頼性学会誌
影响因子:
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通讯作者:
高橋芳浩
高橋芳浩
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
和田雄友;呉研;高橋芳浩

文献摘要

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